Эффективность использования различных конструкций рабочих колес в проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса - page 5

Рис. 3. Определение оптимального значения условного объема проточной части
A
min
при давлении газа
p
= 2
,
67
·
10
6
Па (
а
) и
p
= 6
,
67
·
10
6
Па (
б
)
ся на основе анализа требований, предъявляемых к проектируемому
ТМН и основным параметрам откачки.
Например, при необходимости обеспечения повышенных значений
быстроты действия при определенном давлении газа целесообразно
применять лопаточные колеса. Для насоса, который должен поддержи-
вать относительно высокие значения
S
н
в широком диапазоне давле-
ний предпочтительным может быть вариант с использованием диско-
вых рабочих колес. В случае оптимизации габаритных геометрических
параметров насоса целесообразно использовать лопаточные колеса.
ЛИТЕРАТУРА
1.
Демихов К.Е.
,
Никулин Н.К.
Оптимизация высоковакуумных механических на-
сосов М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 c.
2.
Вакуумная
техника. Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин
и др./ под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение,
2009. 590 c.
3.
Демихов К.Е.
Особенности оптимизации проточной части высоковакуумных
механических насосов в широком диапазоне давлений // Вестник МГТУ им.
Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2012. № 3. С. 80-86.
4.
Демихов К.Е.
,
Куликова Т.В.
Исследование параметров откачных характеристик
молекулярного вакуумного насоса // Конверсия в машиностроении. 2007. № 4–5.
С. 81–84.
5.
Bernhard K.
Calculation of pumping speed of turbo-molecular vacuum pump by
means of simple mechanical data // Vacuum Science and Technology. 1983. Vol. 1
(2). P. 136–139.
6.
Chu Y.
,
Hua Z.
The statistical theory of turbo-molecular pumps// Adv.YVST. 1982.
Vol. 20 (4). P. 1101–1104.
7.
Fustoss L.
Monte-Carlo calculation for free molecular and near-free molecular flow
thought axially symmetric tubes// Vacuum 1981. Vol. 31, no. 6. P. 243–246.
8.
Henning H.
,
Knorr G.
New series of air-cooled turbo-molecular pumps for industry
and research to be mounted in any position //Vacuum Technik. 1981. Bd. 30. Y. N.Y.
P. 98-101.
9.
Демихов К.Е.
,
Никулин Н.К.
Высоковакуумная откачка направленных потоков
газа // Изв. вузов. Сер. Машиностроение. 2011. № 11. С. 28-32.
10.
Демихов К.Е.
,
Никулин Н.К.
,
Свичкарь Е.В.
Расчетпараметров течения газа в
тонких каналах с подвижной стенкой // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.
Машиностроение. 2009. № 4. С. 19–27.
58 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2013. № 4
1,2,3,4 6
Powered by FlippingBook