Keywords
:
flow channel, rotor wheel, agility, pumping characteristics, ultimate
vacuum.
С момента своего появления (60-е годы прошлого столетия) ваку-
умные турбомолекулярные насосы (ТМН) быстро завоевали достой-
ное место в ряду высоковакуумных средств откачки. Имея целый ряд
существенных преимуществ, ТМН серьезно потеснили безусловных
фаворитов по объему использования в вакуумных системах парома-
сляные диффузионные вакуумные насосы, которые никак нельзя от-
нести к так называемым безмасляным средствам откачки (не являю-
щихся источником “загрязнения” объема органическими соединения-
ми). Все это, безусловно, привлекло к ТМН внимание исследователей
различных стран. Как следствие этого, появилось достаточное число
научных работ, посвященных исследованию процессов, протекающих
в проточной части ТМН [1, 2].
И сегодня можно обоснованно утверждать, что ТМН — одни из
немногих высоковакуумных насосов, имеющие достаточное теорети-
ческое обеспечение для разработки современных насосов без после-
дующей экспериментальной проверки и доводки созданных образцов.
Значительный вклад в это внесли исследования, проведенные кол-
лективом ученых МГТУ им. Н.Э. Баумана, в результате которых впер-
вые создано программное обеспечение для оптимизации проточной
части высоковакуумных механических насосов (ВМН) [3]. Все это
было заложено в основу созданной совместно с СКТБ ПО “Вектор”
впервые в мировой практике в области вакуумного машиностроения
САПР ВМН. Аналогов такой системы в области вакуумного машино-
строения до настоящего времени не создано.
Введение же в эксплуатацию этой системы с 1985 г. позволило
только в течение двух лет впервые разработать и организовать серий-
ное производство целого ряда оптимизированных ВМН: ТМНГ-450,
ТМНГ-500, ТМНГ-600ХС (в химически стойком исполнении), ТМНГ-
1000 и ТМНГ-100 (рис. 1).
Особо следует выделить насос ТМНГ-100. Это единственный в
мире абсолютно стерильный ВМН, имеющий атмосферное давление
нагнетания. Аналога такому насосу в настоящее время нет.
Разработанные в МГТУ им. Н.Э. Баумана программы расчета ВМН
позволяют обеспечить многопараметрическую и многокритериальную
оптимизацию их параметров и характеристик, что обеспечивает боль-
шой запас при разработке современных эффективных ВМН [3].
Кроме того, это дает еще возможность реализовать в полном объ-
еме все имеющиеся резервы обеспечения оптимизации всех характе-
ристик насоса.
В современных условиях повышенное внимание исследователи
уделяют формализации структурной оптимизации разрабатываемых
объектов. К сожалению, учитывая сложность проблемы в настоящий
4 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2014. № 5
