|

Импульсная имплантация ионов при лазерной абляции материалов

Авторы: Кошманов В.Е., Смирнов А.Л., Фоминский В.Ю., Смирнов Н.И., Неволин В.Н. Опубликовано: 10.12.2014
Опубликовано в выпуске: #2(51)/2003  

DOI:

 
Раздел: Фундаментальные проблемы машиностроения  
Ключевые слова:

Исследованы возможности новой методики имплантации высокоэнергетичных ионов из импульсной плазмы, инициируемой наносекундными лазерными импульсами в окружении обрабатываемой поверхности. Для ускорения ионов используются высоковольтные импульсы напряжения, подключаемого к обрабатываемой подложке во время подлета эрозионного факела от облучаемой лазером мишени. Установлена зависимость энергетического спектра имплантируемых ионов от параметров лазерной плазмы, а также режимов включения лазерных и высоковольтных импульсов.