|

Определение эффективного диапазона давлений газа на стороне всасывания турбомолекулярного вакуумного насоса

Авторы: Демихов К.Е., Очков А.А. Опубликовано: 19.10.2016
Опубликовано в выпуске: #5(110)/2016  

DOI: 10.18698/0236-3941-2016-5-89-95

 
Раздел: Энергетическое, металлургическое и химическое машиностроение | Рубрика: Вакуумная, компрессорная техника и пневмосистемы  
Ключевые слова: откачная характеристика, турбомолекулярный вакуумный насос, давление газа, сторона всасывания насоса

При проектировании современных вакуумных средств откачки одной из проблем является обоснованный выбор конкретных видов вакуумных насосов для обеспечения требуемых параметров газа на стороне всасывания, например, диапазона давлений откачиваемого газа. В настоящее время широкое распространение получили турбомолекулярные вакуумные насосы, имеющие весомые преимущества перед другими средствами откачки. На основании созданных в МГТУ им. Н.Э. Баумана методов расчета проведены исследования по определению диапазона давлений газа на всасывании, в котором турбомолекулярные вакуумные насосы являются предпочтительными при обеспечении оптимальных характеристик. Даны рекомендации по выбору диапазона рабочих давлений турбомолекулярных вакуумных насосов, в котором они наиболее эффективны по сравнению с другими видами вакуумных средств откачки.

Литература

[1] Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.

[2] Справочник по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффман, Б. Сингха, Дж. Томаса. М.: Техносфера, 2011. 736 с.

[3] Вакуумная техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др. / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.

[4] Розанов Л.Н. Вакуумная техника. М.: Высш. шк., 2007. 390 с.

[5] Product Leitfaden. Alcatel Hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.

[6] Komponenten fur dieVakuumtechnik, Balzers-Pfeiffer. GmbH, Balzers, 1996.

[7] Vakuum catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH, Marburg, 1993.

[8] Katalog HV300, Teil B., Leybold AG. Cologne, 1994.

[9] Vacuum product catalog. Varian Ass, Lexington, 1995-1998.

[10] Демихов К.Е. Особенности оптимизации проточной части высоковакуумных механических насосов в широком диапазоне давлений // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2012. № 3. С. 80-86.

[11] Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1970. 504 с.