Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса, обеспечивающего требуемые параметры откачки | Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана
|

Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса, обеспечивающего требуемые параметры откачки

Авторы: Демихов К.Е., Очков А.А. Опубликовано: 06.12.2016
Опубликовано в выпуске: #6(111)/2016  

DOI: 10.18698/0236-3941-2016-6-89-95

 
Раздел: Энергетическое, металлургическое и химическое машиностроение | Рубрика: Вакуумная, компрессорная техника и пневмосистемы  
Ключевые слова: быстрота действия, давление всасывания, откачная характеристика, проточная часть

Приведены результаты исследования влияния параметров форвакуумного насоса на параметры откачки турбомолекулярного вакуумного насоса. На основании разработанной авторами программы расчета впервые получены данные о взаимном влиянии их откачных характеристик, позволяющие выбирать конкретные виды насосов при условии обеспечения оптимальных параметров всей откачной системы. Даны рекомендации по определению соотношения максимальных значений быстроты действия форвакуумного и турбомолекулярного вакуумных насосов.

Литература

[1] Справочник по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффмана, Б. Сингха, Дж. Томаса III. М.: Техносфера, 2011. 736 с.

[2] Вакуумная техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др. / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.

[3] Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.

[4] Пипко А.И., Плисковский В.Я., Королев Б.И., Кузнецов В.И. Основы вакуумной техники. М.: Энергоиздат, 1981. 432 с.

[5] Vacuum product catalog. Varian Ass. Lexington. 1995-1998.

[6] Product leitfaden. Alcatel hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.

[7] Komponenten fur die vakuumtechnik. Balzers-Pfeiffer GmbH. Balzers, 1996.

[8] Vakuum catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH. Marburg, 1993.

[9] Katalog HV300, Teil B., Leybold AG. Cologne, 1994.