|

Проектирование технологических процессов изготовления испаряемых мишеней

Авторы: Власов Ан.В., Селиверстов Д.Г. Опубликовано: 28.05.2015
Опубликовано в выпуске: #2(31)/1998  

DOI:

 
Раздел: Технология и технологические машины  
Ключевые слова:

Предложена методика проектирования исходной геометрии капсулы для изготовления мишеней горячим изостатическим прессованием, исходя из требуемых конечных размеров порошковой заготовки. Приведен пример использования разработанной методики для проектирования W-Si-мишени на титановой подложке.