Метод расчета оптимальных параметров комбинированного молекулярного вакуумного насоса

1 / 7

98 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2017. № 5
УДК 621.52 DOI: 10.18698/0236-3941-2017-5-98-104
МЕТОД РАСЧЕТА ОПТИМАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ
КОМБИНИРОВАННОГО МОЛЕКУЛЯРНОГО
ВАКУУМНОГО НАСОСА
К.Е. Демихов
А.А. Очков
Г.Т. Цакадзе
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация
Аннотация Ключевые слова
Создание новых конструкций высоковакуумных
средств откачки и совершенствование уже существую-
щих является одним из приоритетных направлений
развития вакуумной техники. В связи с растущей в
настоящее время потребностью в увеличении мобиль-
ности технических устройств актуальным является
вопрос снижения их массогабаритных характеристик.
Разработан метод расчета молекулярного вакуумного
насоса нового типа, позволяющего получить оптималь-
ные параметры проточной части с обеспечением задан-
ной быстроты действия в широком диапазоне давлений
на стороне всасывания. Проведен сравнительный ана-
лиз характеристик предлагаемого насоса с расчетными
характеристиками аналогичных средств откачки
Метод расчета, вакуум, разрежение,
молекулярный вакуумный насос, оп-
тимизация, быстрота действия,
проточная часть
Поступила в редакцию 23.05.2017
©МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017
Молекулярные вакуумные насосы (МВН) в настоящее время достаточно широ-
ко применяются в качестве самостоятельного вида средств откачки и как до-
полнительная ступень в составе гибридных турбомолекулярных насосов [1–3].
Молекулярные вакуумные насосы, обладая рядом конкурентоспособных пре-
имуществ, не имеют аналогов, способных обеспечить эффективную безмасля-
ную откачку газа в диапазоне давлений от 1 до 100 Па.
В связи с высокими темпами развития инженерных технологий, в частности
вакуумной техники, в настоящее время актуальным является вопрос расширения
диапазона работы МВН. Успешным решением данной проблемы может служить
объединение существующих типов МВН, таких как цилиндрический и дисковый
МВН (ЦМВН и ДМВН), в один МВН с комбинированной проточной частью
(ПЧ), состоящей из цилиндрической и дисковых ступеней. Принципиальная схе-
ма подобного устройства приведена на рис. 1. В состав данной конструкции МВН
входят: гладкий ротор 1 цилиндрической ступени МВН, статор 2 цилиндрической
ступени с фрезерованным каналом, роторные гладкие диски 3 дисковой ступени,
статорные диски 4 с нарезанными в них каналами в форме архимедовой спирали,
корпус 5 и вал 6.